每一台计算机都想拥有一颗奔腾稳定的“芯”,每一家半导体厂都必须有一个稳定高效的空气动力系统。全球各大CPU处理器设计生产商都会严苛的选择出色的压缩空气系统解决方案供应商。
在中国,第一家晶圆制造厂于2010年在大连投产,使用3台无油离心式空压机承担整个工厂的空气动力供给。2015年10月,再次投资55亿美元,在大连新建二期制造工厂,生产世界先进的3D XPoint非易失性存储器。这个项目是迄今为止在中国的最大投资,也是其在亚洲唯一的制造工厂。
新工厂设计了完备的无油压缩空气解决方案,能够满足极高稳定需求。设计的配套方案由2台1250KW无油离心式空压机加2台900KW变频无油螺杆空压机加3台增压机组成的无油空气系统。
半导体行业对供气压力的稳定性要求及其严格,有的厂家会采用多台机器长时间保持热备机状态,不计成本地保证压力稳定不波动,满足生产用气的需要。在此方案中采用了螺杆加离心空压机的完美搭配方案,同时增加的增压机,进一步确保在任何情况下都能有效保证生产力的稳定,确保系统万无一失。
这样一整套高稳定性的压缩空气系统的实现,当然还少不了中央控制器的参与。以上所有的空压机和增压机组都由中央控制器连接,每台设备的起停、加载、卸载都由它根据管网压力需求,通过智能数据分析结果进行分配控制;选择最佳的气量组合,提供更精准的压力带,从而实现以最高效、稳定的方式提供所需的压缩空气,并可降低能源成本。